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中科科儀F-400/3600型渦輪分子泵

F-400/3600技術性能:

型號
F-400/3600
抽氣速率(l/s)
3600
振動值((mm))
≤0.5
壓縮比
N2:107;H2:5×102
建議前級泵(l/s)
30
極限壓強(Pa)
≤6×10-6
冷卻水溫度(℃)
≤25
排氣口法蘭
LF100(DN100 ISO-K)
泵體烘烤溫度(℃)
≤90
進氣口法蘭
LF400(DN400 ISO-K)
環境溫度(℃)
5-40
軸承
陶瓷軸承
充油量(ml)
230
啟動時間(min)
<14
安裝方式
豎直±5°
額定轉速(rpm)
15300
重量(kg)
130

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