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S48 400/HMT
全球首臺通過WIFI控制的MFC
隨時監控,隨時調控
數字式氣體質量流量控制器
遠程無線操作與控制
高精度
良好的線性
對零點漂移有效的抑制
電磁閥使用壽命≥100萬次
全球化的零配件供應——傳感器、分流器、精密電阻等關鍵部件日本進口
編號 項目 S48 400/HMT
1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,)L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止狀態 常閉
4 安裝角度 任意
5 流量控制范圍 2%~100%
6 準確度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)
 
7 ±0.5%F.S.
 
8 重復精度 ±0.2%F.S.
 
9 響應時間 ≤ 1 s
10 工作壓差范圍 (0.05~0.3)MPa(<10L/min); (0.1~0.3)MPa(10~50)L/min
11 耐壓 3MPa          
12 工作環境溫度 5℃~45℃
13 精度保證溫度 15℃~35℃
14 接觸氣體材料  316L,Viton?,PTFE,或其他
15 漏率 <1×10-8Pa·m3/s
16 接頭 Swagelok:Φ6mm,1/4″
VCR:1/4″或其他
17 輸入信號 WIFI
 
18 輸出接口 WIFI
 
19 通訊接口 WIFI
Modbus TCP協議從機
 
20 供電電源 11V~25V(±2%)
 

產品安裝與尺寸圖:

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