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S48 300/HMT
數字式氣體質量流量控制器
高精度
最多可實現16臺聯動控制
高精度
良好的線性
快速的響應
對零點漂移有效的抑制
電磁閥使用壽命≥100萬次
全球化的零配件供應——傳感器、分流器、精密電阻等關鍵部件日本進口
通訊接口優勢
多臺控制器可以同時運行
編號 項目 S48 300/HMT
1 流量規格  (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,,5,10,20,30,50)L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止狀態 常閉
4 安裝角度 任意
5 流量控制范圍 2%~100%
6 準確度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)
7 線性 ±0.5% F.S.
8 重復精度 ±0.2% F.S.
9 響應時間  ≤1s
10 工作壓差范圍 (0.05~0.3)MPa(<10L/min):
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min;
 (0.15~0.3)MPa 50L/min
                
11 耐壓  ±3MPa
12 工作環境溫度 55℃~50℃
13 精度保證溫度 15℃~35℃
14 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton或其他
15 漏率 <1×10-8 Pa?m3/s 
16 接頭 Swagelok:Φ6mm,1/4″ 
VCR:1/4″或其他
17 輸入信號  數字:RS232/RS485
 模擬:(0~+5.00)V,輸入阻抗>100KΩ

VCR:1/4″3/8″
18 輸出信號  數字:RS232/RS485
 模擬:(0~+5.00)V,負載能力≤3mA
 
19 通訊接口 數字:RS232/RS485  波特率:4800/9600/19200Bps
協議叢機   設備號可選范圍:0~15
 
20 供電電源 ±15V(±5%)
(+15V,150mA;-15V,200mA)
21 重量  0.9


S48 300/HMT安裝尺寸圖:

 

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