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產品詳情
中科科儀FF-200/1300N型脂潤滑復合分子泵
產品特點
抗腐蝕性:抽氣單元采用防腐鍍層,可抽除酸性、堿性腐蝕氣體
護:通入氮氣有效保護軸系
使用方便:通氣接口為KF16快接法蘭,通水接口為直插式快速接頭
潔凈無油:采用脂潤滑精密陶瓷軸承,無油蒸汽污染 
技術指標
型號
FF-200/1300N脂潤滑復合分子泵
                                    抽氣速率(L/s)
1300
                                            壓縮比
N2:109; H2:6×103
                                       極限壓強(Pa)
≤6×10-6(DN200LF)
≤6×10-7(DN200CF)
                                      額定轉速(rpm)
24000
                                      啟動時間(min)
<6
                                   建議啟動壓強(Pa)
<100
                                    啟動時間(min)
<6
                                            振動(μm)
≤0.1
                                         冷卻方式
水冷
                                        安裝方向
任意角度
                                    環境溫度(℃)
5~40℃
                                  保護性氣體法蘭
KF16(DN16 KF)
                                保護性氣體流量(N2)
12~20sccm
腳注信息
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